Os elétrons sempre atravessam a amostra, porém chegam com energia menor no detector.

A profundidade de penetração dos elétrons na amostra depende da potência do feixe eletrônico e independe da composição do material da amostra.

Se o elétron penetra no átomo da amostra, de maneira a alcançar o núcleo, sua velocidade será influenciada proporcionalmente à carga desse núcleo, ou seja, ao número atômico de seu átomo.

Como resultado das interações elásticas, mas não das inelásticas, o elétron que incide na amostra pode se retroespalhar.

A ionização dos átomos da amostra é resultado da interação do feixe de elétrons com os elétrons das camadas mais internas dos átomos da amostra.