Questão 1392596

1392596 Ano: 2012
Disciplina: Engenharia Eletrônica
Banca: FUNRIO
Orgão: CEITEC

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Especialista em Tecnologia Eletrônica Avançada - PESDES
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Tópicos avançados em microeletrônica

Imagens de microscopia eletrônica de varredura são muito usadas na inspeção de circuitos integrados. Nesse contexto são verdadeiras as seguintes afirmativas, EXCETO:

O contraste entre as estruturas de composição química diferente pode ser evidenciado com o uso de imagem de elétrons retroespalhados.

Nas energias típicas do feixe (10-30keV) as camadas dielétricas do circuito se tornam praticamente transparentes e o efeito de carregamento é desprezível.

Topografia pode ser evidenciada inclinando-se a amostra em relação ao feixe.

Raios-x característicos são gerados no volume de interação do feixe, e permitem uma análise química com sua detecção.

Circuitos integrados podem ser danificados pelo feixe de elétrons do microscópio.

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