Questão 1392843

1392843 Ano: 2012
Disciplina: Engenharia Eletrônica
Banca: FUNRIO
Orgão: CEITEC

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Especialista em Tecnologia Eletrônica Avançada - ESPCON
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Tópicos avançados em microeletrônica

O processo de fotolitografia é essencial para a fabricação de circuitos integrados. No escopo da fotolitografia qual das afirmativas abaixo é a correta?

Utiliza-se um material polimérico denominado eletroresiste para a transferência de um padrão geométrico para o chip.

Consegue-se uma definição lateral menor de um padrão geométrico com um comprimento de onda maior do feixe de luz.

Consegue-se obter dimensões laterais menores do padrão geométrico através de imersão em solução líquida.

Fotolitografia de contato é o método que permite a maior repetibilidade na produção de chips.

A melhor resolução fotolitográfica é obtida quando se utiliza uma lente de projeção com superfície esférica.

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