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Respondida
1410810
Ano:
2012
Disciplina:
Engenharia Eletrônica
Banca:
FUNRIO
Orgão:
CEITEC
Provas:
Especialista em Tecnologia Eletrônica Avançada - CORRPL
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Tópicos avançados em microeletrônica
Qual a finalidade da fase do processo RIE chamada
breakthrough
?
A
Corrosão da camada de oxido nativo.
B
Corrosão do filme de Si.
C
Remoção de fotorresiste.
D
Limpeza da amostra.
E
Remoção de silício sobrando depois da corrosão.
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