O sistema é constituído por um filamento de tungstênio afilado submetido a uma diferença de potencial positiva superior a 10 kV. O feixe de elétrons dentro da coluna produzido no filamento, por ser coerente, não requer interferência das lentes magnéticas.

O sistema é constituído por um filamento de zircônio afilado submetido a uma diferença de potencial elétrico de 100 kV. Elétrons são arrancados e acelerados, por meio de um conjunto de lentes magnéticas, e colidem com a amostra.

Esse dispositivo apresenta um filamento de tungstênio submetido a uma diferença de potencial pulsada e variada, responsável pela produção de um feixe de elétrons, o qual é orientado por lentes magnéticas especiais até atingir a amostra.

Esse dispositivo apresenta um emissor pontiagudo (catodo), do tipo Müller, mantido a um potencial negativo de vários quilovolts em relação ao eletrodo próximo, o que é suficiente para causar a emissão de elétrons. O emissor pode ser do tipo catodo frio, feito de um único cristal de tungstênio.

Esse sistema apresenta um emissor de íons alimentado por alta voltagem e, por se tratar de feixe de íons, não necessita de lentes magnéticas para correção do feixe