O canhão de elétrons é utilizado para a produção de elétrons com energia e quantidade suficientes para serem captados pelos detectores, podendo o canhão estar sob vácuo ou sob pressão atmosférica ambiente.

As lentes condensadoras são usadas para reduzir o diâmetro do feixe de elétrons.

A última lente serve para ampliar o feixe de elétrons e permitir maior deflexão desse feixe antes que ele atinja a superfície da amostra a ser analisada.

O aumento de varredura da imagem consiste na relação entre o tamanho da imagem no vídeo e o inverso do tamanho da área varrida na amostra.

O diâmetro do feixe de elétrons produzidos diretamente pelo canhão de elétrons é suficiente para produzir uma boa imagem em grandes aumentos.