Questão 1378627

1378627 Ano: 2012
Disciplina: Engenharia Eletrônica
Banca: FUNRIO
Orgão: CEITEC

Provas:

Quanto aos reatores de deposição química de vapor melhorada por plasma (PECVD), é correto afirmar que

as frequências utilizadas estão na faixa dos raios-X e as pressões acima de 0,1 atm.

as frequências utilizadas estão na faixa da radiofrequência e das micro-ondas e as pressões são de até 0,01 atm.

as frequências utilizadas estão na faixa do ultravioleta e as pressões acima de 0,1 atm.

as frequências utilizadas estão na faixa dos raios-X e as pressões são de até 0,01 atm.

as frequências estão na faixa da radiofrequência e das micro-ondas e as pressões devem ser maiores que 0,1 atm.

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