a identificação das coordenadas atômicas da emissão dos raios X emitidos por uma amostra durante a incidência do feixe de elétrons sobre a mesma, que são características da energia do elétron emitido e que possibilitam a identificação do elemento químico emissor da energia.

a identificação da direção dos raios X que são liberados da amostra após a incidência do feixe de elétrons sobre a mesma. Cada elemento químico libera raios X em uma direção específica. Dentro de uma esfera de detecção, a direção da onda é específica do elemento químico emissor.

a identificação e a quantificação da diferença energética entre as emissões dos raios X e dos elétrons retroespalhados por determinada amostra durante a incidência do feixe de elétrons na mesma.

a identificação e a medição de elementos químicos e sua localização, considerando que o raio X emitido por um elemento excitado por um feixe de elétrons tem um comprimento de onda característico desse elemento e uma intensidade relacionada à sua concentração. Nesse caso, a análise é feita por um microscópio eletrônico acoplado a um espectrômetro de raios X em modo de varredura ou transmissão.

a quantificação da energia emitida pelos núcleos dos átomos após terem sido bombardeados pelo feixe de elétrons produzido pelo microscópio. A diminuição da energia nuclear pode ser calculada e associada a um elemento de forma específica.