A seguir, são apresentadas algumas vantagens de diferentes processos de deposição química a partir de vapor.
I – Reator simples.
II – Altas taxas de deposição.
III – Excelente pureza e uniformidade.
IV – Baixa temperatura.
Assinale a alternativa que apresenta a(s) vantagem(ns) da deposição química a partir de vapor em baixa pressão.
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