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Respondida
1377515
Ano:
2012
Disciplina:
Engenharia Eletrônica
Banca:
FUNRIO
Orgão:
CEITEC
Provas:
Especialista em Tecnologia Eletrônica Avançada - CORRPL
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Tópicos avançados em microeletrônica
Qual principal vantagem dos plasmas RF em comparação com plasmas DC?
A
Facilidade de usar as fontes RF.
B
Material a ser corroído pode ser isolante.
C
Maior aquecimento de amostras.
D
Controle maior do processo.
E
Menor pressão de gás.
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