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Respondida
1381004
Ano:
2012
Disciplina:
Engenharia Eletrônica
Banca:
FUNRIO
Orgão:
CEITEC
Provas:
Especialista em Tecnologia Eletrônica Avançada - IMPION
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Tópicos avançados em microeletrônica
Qual deve ser o ambiente interno no implantador de íons para executar o processo?
A
Ambiente inerte com gás nitrogênio.
B
Ambiente em vácuo com pressão em torno de 1 mTorr.
C
Ambiente em vácuo em pressão atmosférica.
D
Ambiente inerte com gás argônio.
E
Ambiente em vácuo com pressão menor que 10
-6
Torr.
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