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Respondida
1384163
Ano:
2012
Disciplina:
Engenharia Eletrônica
Banca:
FUNRIO
Orgão:
CEITEC
Provas:
Especialista em Tecnologia Eletrônica Avançada - FOTOLI
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Tópicos avançados em microeletrônica
Quais as principais causas do limite de resolução em fotolitografia?
A
Espessura do fotorresiste, tempo de cura e revelador.
B
Material da máscara litográfica e tipo de alinhadora.
C
Tecnologia do dispositivo e fabricante da máscara.
D
Revelador utilizado, tempo de exposição do fotorresiste e conteúdo sólido do fotorresiste.
E
Comprimento de onda, tipo de fotorresiste, sistema ótico da alinhadora e limite de definição da máscara.
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